表面電阻測試儀測量半導體的電阻率
一,測試原理:
當四根金屬探針排成一bai條直線,并以一定壓力壓在半導體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產生電位差V(如圖所示).
根據公式可計算出材料的電阻率:
其中(zhong),C為四(si)探(tan)針(zhen)的(de)探(tan)針(zhen)系數(shu)(cm),它的(de)大小取決(jue)于四(si)根探(tan)針(zhen)的(de)排列方(fang)法和(he)針(zhen)距.

表面電阻測試儀儀器操作:
(一)測試前的準備:
1,將(jiang)電源插(cha)頭插(cha)入儀器背面(mian)的電源插(cha)座,電源開關置(zhi)于(yu)斷開位(wei)置(zhi);

2,工作方式開關置(zhi)(zhi)于(yu)"短路"位(wei)置(zhi)(zhi),電流開關處于(yu)彈出位(wei)置(zhi)(zhi);

3,將(jiang)手(shou)動(dong)測試架的(de)屏蔽線插(cha)頭與電氣箱(xiang)的(de)輸入插(cha)座連(lian)接好;

4,對(dui)測(ce)試樣(yang)品進行一定的處理(如噴沙,清(qing)潔等(deng));

5,調節室內溫度及濕度使之達到測試要求.
(二)測試:
首先將電源開關置于開啟位置,測量選擇開關置于"短路",出現數字顯示,通電預熱半小時.
1,放好樣品,壓下探(tan)頭(tou),將測量選(xuan)擇(ze)開關(guan)置(zhi)(zhi)于"測量"位(wei)置(zhi)(zhi),極性(xing)開關(guan)置(zhi)(zhi)于開關(guan)上方;

2,壓(ya)下探頭(tou)時,壓(ya)力要適(shi)中,以免(mian)損壞探針;

3,由于(yu)樣(yang)品(pin)(pin)表面(mian)電(dian)阻可能(neng)分(fen)布不(bu)均,測(ce)量時應對一個(ge)樣(yang)品(pin)(pin)多測(ce)幾個(ge)點,然后取平均值;

4,樣品的實際電阻率還與其厚度有關,還需查附錄中的厚度修正系數,進行修正.
1. 在測容性負載阻值時，絕緣電阻測試儀輸出短路電流大小與測量數據有什么關系，為什么?
絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)輸出短路電(dian)(dian)(dian)流(liu)的(de)大(da)(da)小(xiao)可(ke)反映出該兆(zhao)歐表內部輸出高(gao)壓(ya)源內阻(zu)(zu)的(de)大(da)(da)小(xiao)。當(dang)被測(ce)(ce)試(shi)品存(cun)在電(dian)(dian)(dian)容(rong)量(liang)時(shi)，在測(ce)(ce)試(shi)過(guo)程的(de)開始階段，絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)內的(de)高(gao)壓(ya)源要通過(guo)其(qi)內阻(zu)(zu)向(xiang)該電(dian)(dian)(dian)容(rong)充(chong)電(dian)(dian)(dian)，并逐(zhu)步(bu)將電(dian)(dian)(dian)壓(ya)充(chong)到(dao)絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)的(de)輸出額定高(gao)壓(ya)值。顯然，如果(guo)試(shi)品的(de)電(dian)(dian)(dian)容(rong)量(liang)值很大(da)(da)，或高(gao)壓(ya)源內阻(zu)(zu)很大(da)(da)，這一(yi)充(chong)電(dian)(dian)(dian)過(guo)程的(de)耗時(shi)就會加長。其(qi)長度可(ke)由R內和C負載的(de)乘(cheng)積決(jue)定（單位為秒）。請(qing)注意，給(gei)電(dian)(dian)(dian)容(rong)充(chong)電(dian)(dian)(dian)的(de)電(dian)(dian)(dian)流(liu)與(yu)被測(ce)(ce)試(shi)品絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)上(shang)流(liu)過(guo)的(de)電(dian)(dian)(dian)流(liu)，在測(ce)(ce)試(shi)中是一(yi)起流(liu)入絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)內的(de)。絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)測(ce)(ce)試(shi)儀(yi)(yi)測(ce)(ce)得(de)(de)的(de)電(dian)(dian)(dian)流(liu)不僅有絕(jue)(jue)(jue)(jue)緣(yuan)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)(zu)上(shang)的(de)分量(liang)，也加入了(le)電(dian)(dian)(dian)容(rong)充(chong)電(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)流(liu)分量(liang)，這時(shi)測(ce)(ce)得(de)(de)的(de)阻(zu)(zu)值將偏(pian)小(xiao)。