測量項(xiang)目

測(ce)量項目(mu)

點、直線、圓(yuan)、部分圓(yuan)、橢(tuo)圓(yuan)、圓(yuan)弧處理（圓(yuan)弧半(ban)徑、圓(yuan)心距(ju)、圓(yuan)心到直線的距(ju)離(li)、交點到圓(yuan)心的距(ju)離(li)等）、高點、低點(dian)、距離、角(jiao)度(du)(du)處理(li)（坐標夾(jia)角(jiao)、直線夾(jia)角(jiao)）、直線度(du)(du)、槽深、槽寬、溝邊距、溝心(xin)距、水平距、凸度(du)(du)（對數曲線）、輪廓度(du)(du)等(deng)參數

測量范圍

X軸（橫導軌）

100mm

Z1軸（傳(chuan)感器）

40mm

Z軸（立(li)柱）

400mm

測量精度

X軸(zhou)

(L=X軸導(dao)軌移動距離(li))

±(1+L/300)μm

Z1軸

(H=Z1軸(zhou)方(fang)向(xiang)測量(liang)高(gao)度)

±(1+2H/100)μm

X軸水平臂

直線度

0.8μm/100mm

光(guang)柵分(fen)辨(bian)率(lv)

0.05μm

光柵產地

進口

Z1軸傳感器

分辨(bian)率

0.02μm

傳感器類(lei)型

光(guang)柵傳感器

產(chan)地

進口

移動(dong)方向

前/后 雙方向

測力

0.5-6g

測針(zhen)針(zhen)尖

硬質合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡(po)角度(du)

上升77度 下降88度

速(su)度

測量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定(ding)義(yi)）

定(ding)位(wei)速度(du)

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自(zi)定義）

輪廓儀圖形(xing)放大/縮(suo)小(xiao)

圖形放(fang)大

可任意縮小(xiao)、放大

綜合調整(zheng)臺(tai)

綜合調整(zheng)臺

X軸水平(ping)傾斜調整范圍：±30°

Y軸方向(xiang)調整范圍：±7.5mm

Z軸回轉(zhuan)可調360度(du)（帶微調裝置）

輪廓儀安裝要求

電源(yuan)

220-240V  AC, 50HZ，單獨地(di)線；大功(gong)率消耗450W

壓縮空(kong)氣(qi)

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上(shang)）

環境要求

工作溫(wen)度(du)：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無結(jie)露），良好地(di)線，無明顯振(zhen)源