粗糙度儀評定參數(shu)

評定參數

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

粗糙度儀測(ce)量范圍

Z軸(zhou)

800μm

X軸(zhou)

50mm

直線度(du)(du)精(jing)度(du)(du)

直線度(du)精度(du)

0.4μm

分辨率(lv)（Z軸）

分辨(bian)率（Z軸）

0.001μm

采樣數/分解能

采(cai)樣數/分解能

9600點/16bit

濾波器(qi)

濾波器(qi)

高斯(Gaussian)濾(lv)波器(qi)（ISO11562:1996），2RC濾波(bo)器

取(qu)樣長(chang)度

取(qu)樣長度

λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

截(jie)止(zhi)波長

截止波長

0.25,0.8,2.5

測(ce)量速度

測(ce)量速度

0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返(fan)回(hui)速(su)度

返(fan)回(hui)速度(du)

（自(zi)動） 1mm/s

示值誤差

示值誤差

±5%

示(shi)值穩定性

示值穩定性

3%

測量重復性

測量重復性

3%

圖形(xing)放大倍率(lv)

圖形放大倍率

10-500000自動調(diao)整

傳感器

傳感器

針尖 R=2μm鉆石（測量(liang)力(li)1mN）

R=5μm鉆(zhan)石(測量力4mN）