測(ce)量項(xiang)目

粗糙度 部分(fen)

Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr

輪廓儀 部分

點、直線、圓(yuan)、部分圓(yuan)、橢圓(yuan)、圓(yuan)弧(hu)(hu)處理（圓(yuan)弧(hu)(hu)半徑、圓(yuan)心(xin)(xin)距(ju)、圓(yuan)心(xin)(xin)到直線的(de)距(ju)離(li)(li)、交點到圓(yuan)心(xin)(xin)的(de)距(ju)離(li)(li)等）、高點、低點、距(ju)離(li)、角度處理（坐標夾角、直(zhi)線(xian)夾角）、直(zhi)線(xian)度、槽深、槽寬、溝(gou)邊距(ju)、溝(gou)心(xin)距(ju)、水平距(ju)、凸度（對數曲線(xian)）、輪廓度等(deng)參數

粗(cu)糙(cao)度(du) 測量范圍

X軸

RA：0.005μm—16.00μm

Z1軸

±20μm、±40μm、±80μm

取(qu) 樣(yang) 長 度 L

0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動

評 定 長 度

1L—5L(可選 L為(wei)取樣長度(du))

測量行程長(chang)度

3L—7L(可選 L為取(qu)樣長(chang)度)

輪廓(kuo)儀 測量范圍

X軸（橫導軌）

100mm

Z1軸（傳感(gan)器）

40mm

Z軸（立柱）

400mm

粗(cu)糙度 測量精度

示值誤差 1

0.001μm

示值誤差(cha) 2

≤±7％

輪廓儀 測量精度(du)

X軸(zhou)

(L=X軸導軌(gui)移動距離(li))

±(1.2+L/300)μm

Z1軸

(H=Z1軸方向測量高(gao)度)

±(1+2H/100)μm

X軸水平臂

直(zhi)線度

1μm/100mm

光柵分辨(bian)率

0.1μm

光柵(zha)產(chan)地

進口

Z1軸傳感器

分辨率

0.05μm

傳感器類型

光柵傳感(gan)器(qi)

產地

進(jin)口

移動方向(xiang)

前(qian)/后(hou) 雙方(fang)向(xiang)

測力

0.5-6g

測針針尖

硬質合(he)金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度(du)

上升77度 下降88度(du)

驅動(dong)行程

大驅動行程長度

17.5mm/0.71 inch

小驅動行程長度(du)

1.3mm/0.052 inch

粗糙度 速度

測(ce)量速(su)度

0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s

粗糙度輪廓儀速度

測量(liang)速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定(ding)義(yi)）

定位速度(du)

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定(ding)義）

圖(tu)形放大/縮小(xiao)

圖(tu)形放大

可任意縮小、放(fang)大(da)

粗糙度輪廓儀綜合調整臺

綜合調整臺(tai)

X軸水平(ping)傾斜調(diao)整范(fan)圍：±30°

Y軸(zhou)方向(xiang)調整范圍：±7.5mm

Z軸回轉可調360度（帶微調裝置）

安裝要求

電源

220-240V  AC, 50HZ，單獨地(di)線；大(da)功率消耗450W

壓(ya)縮空氣(qi)

純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗(hao)0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環境(jing)要求

工作溫度：10°-30°（常溫(wen)）；濕(shi)度20-80%RH（無結露），良(liang)好地線，無明顯振源